Представлены результаты метрологических исследований способа бесконтактных измерений дальности, наноперемещений и вибраций, основанного на явлениях оптической обратной связи и частотной модуляции в полупроводниковых лазерах. Показано, что частота получаемого сигнала линейно связана с дальностью, чувствительность составляет 8 кГц/мм, а погрешность при выдаче результатов 10 раз в секунду составляют около 0,3% в диапазоне измерений порядка полуметра. Метод позволяет оценивать наноперемещения в диапазоне расстояний около 10 см с разрешением 5 нм. В отличие от доплеровских виброметров, реагирующих на виброскорости, исследуемая методика позволяет оценивать величину вибросмещений.