Показана теоретически и подтверждена экспериментально возможность уменьшения переменной систематической погрешности интерферометрических измерений путем повышения степени компенсации остаточных аберраций интерферометра. Доказано, что в случае переменного характера аберраций интерферометра одной опорной голограммы для коррекции аберраций недостаточно, а используя несколько опорных голограмм, на которые записаны аберрации, можно восстанавливать интерференционные картины, влияние остаточных аберраций на ход полос в которых сведено до определенного минимального уровня.