Оптические методы исследования потоков - 2017
Е. П. Иванова
Институт спектроскопии РАН, Россия, Московская обл., г.Троицк
Рентгеновский лазер с оптической самонакачкой с λ ~ 13,4 нм на переходе 4f 1P1 – 4d 1P1 Ni – подобного олова для промышленной нанолитографии
Представлена модель источника монохроматического излучения с
λ ~ 13.4 нм, с высоким энергетическим выходом, предназначенного для промышленной нанолитографии. Создание высокоэнергетичных источников в указанной области является актуальной проблемой, поскольку именно для этой области разработаны многослойные зеркала с высоким коэффициентом отражения (>60%). Основа источника – рентгеновский лазер (РЛ) на переходе 3d93/24f5/2 [J=1] – 3d93/24d3/2[J=1] Ni – подобных ионов олова (Sn 22+) в плазме образованной при взаимодействии наноструктурированной мишени олова с интенсивным ультракоротким лазером накачки (Ipump ~ 8×1017 Вт/см2). Механизм инверсии лазеров с оптической само накачкой обусловлен реабсорбцией (перепоглощением) фотонов в оптически плотной плазме. Обсуждаются: принцип создания мишени, схема экспериментальной установки, расчеты коэффициентов усиления и квантовых выходов РЛ с длиной волны 13.4 нм.
Полный текст доклада
λ ~ 13.4 нм, с высоким энергетическим выходом, предназначенного для промышленной нанолитографии. Создание высокоэнергетичных источников в указанной области является актуальной проблемой, поскольку именно для этой области разработаны многослойные зеркала с высоким коэффициентом отражения (>60%). Основа источника – рентгеновский лазер (РЛ) на переходе 3d93/24f5/2 [J=1] – 3d93/24d3/2[J=1] Ni – подобных ионов олова (Sn 22+) в плазме образованной при взаимодействии наноструктурированной мишени олова с интенсивным ультракоротким лазером накачки (Ipump ~ 8×1017 Вт/см2). Механизм инверсии лазеров с оптической само накачкой обусловлен реабсорбцией (перепоглощением) фотонов в оптически плотной плазме. Обсуждаются: принцип создания мишени, схема экспериментальной установки, расчеты коэффициентов усиления и квантовых выходов РЛ с длиной волны 13.4 нм.